石英退火爐關鍵由爐體、真空系統、料車、冷卻水系統、壓縮空氣系統和電控制系統等構成，接下來為大家敘述下在爐體與發熱體的特點：

一、爐體：

爐體主要包含爐殼、爐膽隔熱反射面屏、發熱器、工件支撐點和料盤構成。爐殼為兩層水冷散熱套構造，法蘭盤、內腔、表面及橡膠支座為碳素鋼。筒夾內通過嚴謹的壓力試驗和測漏，具備較好的密封性和溫度可靠性。水套內的冷卻水循環好，防止爐體溫度不勻稱及其氣溫過高對爐體造成影響害。真空室內腔拋光，確保真空泵加溫系統軟件內潔浄度的一起為加溫系統得到較高真空值給予確保。爐體上的其他配件包含真空泵規管、制冷氣體回填土閥、充閥門、真空表等。

二、發熱器：

1、發熱器原材料挑選：

真空泵加溫的發燙原材料有兩大類，金屬材質有：鎳鉻合金鐵鎳鐵合金、鉬鎢和鉭等，非金屬材質有碳碳復合材料、高純石墨等。電熱元件材料的選用主要是考慮到石英退火爐較高應用溫度，與此同時要合理挑選真空泵下的電熱材料工作電壓，避免真空泵充放電和電穿透狀況，末后明確合適的電熱材料表層負載。該機器設備較高溫度1550℃，可考量應用鉬、鎢、鉭和石墨材料。但鎢原材料生產加工特性不太好，大容量非晶帶材也是較難生產加工，并且原材料成本相對高。鉭材生產加工特性優良，并且應用溫度高，但原料成本費較貴。因為該系統合理工作中空間大，相對應爐體、隔熱保溫屏和發熱器規格也非常大，假如運用高純石墨做為發熱器原材料，爐蓋、隔熱保溫屏和發熱器規格會相對應比金屬材料發熱器的規格越大，并且價錢高。并且因此該系統軟件采用高溫鉬原材料做為發熱器原材料。

2、發熱器產品結構設計：

電熱材料挑選好后，就需要依據石英退火爐的輸出功率和加溫室形狀、尺寸和類型挑選適宜的發熱器構造。

為有利于開展溫度均衡性操縱及以后維護保養，在長度方位上采用三段加溫的方式，三段獨立操縱，高溫鉬帶根據聯合分布的高溫鉬聯接件、質量好的隔緣瓷件與爐膽相互連接。在前后左右爐膛沒有發熱器，為確保均控溫規格，根據延長正中間筒部三段發熱器開展溫度補償。